產(chǎn)品描述

在線流量測(cè)量

AWM5000系列微橋質(zhì)量氣流傳感器具有文丘里型流動(dòng)外殼。它們測(cè)量的流量高達(dá)每分鐘20標(biāo)準(zhǔn)升（SLPM），同時(shí)誘導(dǎo)的最大壓降為2.25N H2O。微橋芯片與流直接接觸，大大減少了由于孔板或旁路通道堵塞而導(dǎo)致的誤差可能性。

堅(jiān)固，多用途的包裝

堅(jiān)固的塑料包裝設(shè)計(jì)可承受高達(dá)50 psi的共模壓力，小型傳感元件可承受100 g的沖擊而不影響性能。附帶的“AMP”兼容連接器在要求苛刻的應(yīng)用中提供可靠的連接。

車(chē)載信號(hào)調(diào)理

每個(gè)AWM5000傳感器包含電路，執(zhí)行放大，線性，溫度補(bǔ)償和氣體校準(zhǔn)。圖1（加熱器控制電路）和圖2（傳感器橋電路和放大線性化電路）說(shuō)明了AWM5000系列的板載電路。1至5 VDC線性輸出是可能的，無(wú)論流量范圍（5,10,15或20 SLPM）或校準(zhǔn)氣體（氮?dú)�，二氧化碳，氧化亞氮或氬氣）。所有的校�?zhǔn)都是通過(guò)主動(dòng)激光切邊進(jìn)行的。